西汉置阳阿县、高都县，属上党郡。晋废阳阿县，太元中年慕容永复置，于县置建兴郡，两县俱属之。北魏永安年间改建兴郡为建州，并置高都郡。北齐废阳阿县。北周改高都郡为高平郡。隋开皇初年废高平郡，改建州为泽州；十八年（598）改高都县为丹川县，属泽州。大业初年废泽州，于今高都镇置长平郡，县属之。
唐武德元年（618）改长平郡为盖州。三年析丹川县地置晋城县，复置建州，治今市区，县属之。六年废建州，盖州徙治今市区。九年丹川县废入晋城县。贞观元年（627）废盖州。后泽州治自今沁水县境徙归晋城县。天宝元年（742）改泽州为高平郡，乾元元年（758）改泽州，县均属之。天佑三年（906）改晋城县为丹川县。
五代唐复改为晋城县。金天会六年（1128）改泽州为南泽州，天德三年（1151）复为泽州，元光二年（1223）于县置忠昌军，县均属之。元废忠昌军。明升泽州为直隶州，晋城县废入。清雍正六年（1728）升为泽州府，析置凤台县。民国元年（1912）废府，三年改凤台县为晋城县。
1949年属长治专区。1958年属晋东南专区。1967年属晋东南地区。1983年，晋城县改为县级市。1985年，实行市管县体制改革，原县级晋城市划分为城郊两区。从原县级晋城市的30个乡（镇）中划出26个乡（镇）组成晋城市郊区。1996年8月8日，经国务院批准，晋城市郊区撤区设为泽州县。
2000年第五次人口普查，泽州县常住总人口517162人，其中，南村镇43813人，下村镇47855人，大东沟镇33932人，周村镇25751人，梨川镇16691人，晋庙铺镇20107人，金村镇25230人，高都镇28292人，巴公镇56562人，大阳镇29555人，川底乡22585人，李寨乡12932人，南岭乡9174人，衙道乡11135人，追山乡6843人，南河西乡7261人，大箕乡15674人，铺头乡15198人，东下村乡7507人，柳口乡9354人，水东乡12710人，鲁村乡14303人，大兴乡13305人，北义城乡14746人，陈沟乡9748人，土河乡6899人。
各乡镇面积、人口数据（根据撤并乡镇摸底统计资料，括号为拟撤并后乡镇数据）：巴公镇83.12平方千米、51148人，陈沟乡28.96平方千米、9014人（巴公镇112.08平方千米、60162人）；高都镇54.08平方千米、27443人，大兴乡65.03平方千米、13919人（高都镇119.11平方千米、41362人）；金村镇44.76平方千米、25372人，水东乡56.57平方千米、14564人，铺头乡110.96平方千米、15762人（金村镇212.29平方千米、55698人）；柳树口乡236.67平方千米、10147人，东下村乡99.77平方千米、8026人（柳树口乡336.44平方千米、18173人）；大箕乡36.73平方千米、15822人，南河西乡95.17平方千米、8427人（大箕乡131.9平方千米、24249人）；追山乡51.94平方千米、7069人，土河乡69.97平方千米、7295人，衙道乡96.14平方千米、11188人（追山乡218.82平方千米、25552人）；北义城乡33.52平方千米、13827人，鲁村乡38.13平方千米、15196人（北义城乡71.65平方千米、29023人）；周村镇68.43平方千米、26497人；下村镇94.86平方千米、38281人；大东沟镇85.83平方千米、32335人；犁川镇60.21平方千米、16801人；晋庙铺镇150.27平方千米、20027人；南村镇88.25平方千米、48682人；大阳镇52.58平方千米、28399人；川底乡86.11平方千米、20281人；李寨乡70.02 平方千米、14881人；南岭乡62.94平方千米、11313人。
2001年，泽州县调整乡镇行政区划（晋政函〔2001〕6号；1月10日晋市政发〔2001〕4号），由10镇16乡调整为14镇3乡：一、撤销陈沟乡、巴公镇，合并设立新的巴公镇。区划调整后巴公镇人口60622人，面积112.08平方千米，镇人民政府驻巴公村。二、撤销大兴乡、高都镇，合并设立新的高都镇。区划调整后高都镇人口40719人，面积119.11平方千米，镇人民政府驻高都村。三、撤销水东乡、铺头乡、金村镇，合并设立新的金村镇。区划调整后金村镇人口56095人，面积212.29平方千米，镇人民政府驻金村村。四、撤销东下村乡、柳树口乡，合并设立柳树口镇。区划调整后柳树口镇人口17996人，面积336.44平方千米，镇人民政府驻柳树口村。五、撤销南河西乡、大箕乡，合并设立大箕镇。区划调整后大箕镇人口23390人，面积131.9平方千米，镇人民政府驻大箕村。六、撤销土河乡、衙道乡、追山乡，合并设立山河镇。区划调整后山河镇人口25504人，总面218.05平方千米，镇人民政府驻马街村。七、撤销鲁村乡、北义城乡，合并设立北义城镇。区划调整后北义城镇人口28518人，面积71.65平方千米，镇人民政府驻北义城村。八、原下村镇、大东沟镇、南村镇、周村镇、梨川镇、晋庙铺镇、大阳镇、李寨乡、南岭乡、川底乡建保持不变。调整后，乡镇平均人口3.02万，平均面积119平方千米。
2001年末，泽州县辖14个镇、3个乡：周村镇、大东沟镇、南村镇、犁川镇、晋庙铺镇、高都镇、巴公镇、大阳镇、下村镇、金村镇、山河镇、柳树口镇、大箕镇、北义城镇、川底乡、李寨乡、南岭乡。共有639个行政村，1204个自然村，2695个村民小组。
2010年第六次人口普查，泽州县常住总人口484174人，其中，南村镇48926人，下村镇46926人，大东沟镇31732人，周村镇23483人，犁川镇14404人，晋庙铺镇19107人，金村镇51880人，高都镇37018人，巴公镇62157人，大阳镇26285人，山河镇22400人，大箕镇17400人，柳树口镇14951人，北义城镇27697人，川底乡21491人，李寨乡12093人，南岭乡6224人。
2015年末，泽州县辖14个镇、3个乡（合计17个），4个居委会、626个村委会（合计630个）。