隋开皇十六年（596年）析高平县地置陵川县，属泽州。大业初年改属长平郡。唐武德元年（618年）别置盖城县，故治在今城关西南23千米盖城村，与陵川县俱属盖州。九年盖城县废入晋城县。贞观元年（627年）陵川县复属泽州。唐末迄五代间属昭义军。宋属泽州高平郡。金复属泽州。
蒙古中统年间改属司侯司。至元三年（1266年）废入晋城县。至元三十一年（1294年）复置陵川县，属泽州。清雍正六年（1728年）属泽州府。民国初年废府，县改属冀宁道，道废后直属省。1949年属长治专区。1958年并入晋城县。1960年复置，属晋东南专区。1967年属晋东南地区。1985年属晋城市。
2000年第五次人口普查，陵川县常住总人口249782人，其中，城关镇50392人，礼义镇30220人，附城镇28753人，西河底镇20746人，平城镇23448人，杨村乡15860人，河乡3986人，潞城乡11770人，曹庄乡7041人，夺火乡5538人，横水河乡4484人，马圪乡2877人，古郊乡9404人，马五寨乡1246人，六泉乡6041人，冶头乡9127人，侯庄乡5290人，秦家庄乡13559人。
各乡镇面积、人口数据（根据撤并乡镇摸底统计资料，括号为拟撤并后乡镇数据）：城关镇109平方千米、44468人，曹庄乡33平方千米、7069人（城关镇142平方千米、51537人）；附城镇90平方千米、28919人，丈河乡100平方千米、4457人（附城镇190平方千米、33376人）；马圪当乡110平方千米、3244人，横水河乡126平方千米、5429人（马圪当乡236平方千米、8673人）；潞城乡111平方千米、12065人，侯庄乡33平方千米、5740人（潞城乡144平方千米、17805人）；古郊乡148.3平方千米、10263人，马武寨乡82.5平方千米、1575人（古郊乡230.8平方千米、11838人）；六泉乡118平方千米、6300人，冶头乡119.5平方千米、9425人（六泉乡237.5平方千米、15725人）；礼义镇86平方千米、31000人；杨村乡31平方千米、15586人；西河底镇87平方千米、20032人；夺火乡245.6平方千米、5966人；平城镇51.8平方千米、23798人；秦家庄乡68.9平方千米、14198人。
2001年，陵川县调整乡镇行政区划（晋政函〔2001〕9号；1月10日晋市政发[2000]6号），由5镇13乡调整为9镇3乡（文件中是7镇5乡），乡镇平均人口2.09万人，平均面积146.43平方千米：一、撤销曹庄乡、城关镇，合并设立崇文镇。区划调整后崇文镇人口52483人，面积142平方千米，镇人民政府驻西关村。二、撤销丈河乡、附城镇，合并设立新的附城镇。区划调整后附城镇人口33144人，面积190平方千米，镇人民政府驻附城村。三、撤销侯庄乡、潞城乡，合并设立潞城镇。区划调整后潞城镇人口17751人，面积144平方千米，镇人民政府驻潞城村。四、撤销横水河乡、马圪当乡，合并设立新的马圪当乡。区划调整后马圪当乡人口8573人，面积236平方千米，乡人民政府驻古石村。五、撤销马武寨乡、古郊乡，合并设立新的古郊乡。区划调整后古郊乡人口11690人，面积230.8平方千米，乡人民政府驻古郊村。六、撤销冶头乡、六泉乡，合并设立新的六泉乡。区划调整后六泉乡人口15682人，面积237.9平方千米，乡人民政府驻六泉村。七、撤销杨村乡，设立杨村镇。区划调整后杨村镇人口16053人，面积31平方千米，镇人民政府驻杨村村。八、原礼义镇、平城镇、西河底镇、秦家庄镇、夺火乡建制保持不变。
2010年第六次人口普查，陵川县常住总人口231360人，其中，崇文镇68079人，礼义镇28408人，附城镇26831人，西河底镇17400人，平城镇21742人，杨村镇16223人，潞城镇14308人，夺火乡3957人，马圪当乡5438人，古郊乡7471人，六泉乡10426人，秦家庄乡11077人。
2015年末，陵川县辖7个镇、5个乡（合计12个），7个居委会、371个村委会（合计378个）。