滨州市境内商朝建有蒲城国。秦朝开始建县，西汉起先后建有郡或国，隋朝开始置州，清朝升州为府，民国初曾一度置道，国民政府先后置第五和第十行政督察专署及鲁北行署。抗日战争和解放战争时期，是渤海区革命根据地党、政、军领导机关驻地。
1950年5月，撤销渤海行政区，对原辖专区进行调整，设立惠民专区，党政机关驻惠民县城，辖惠民、阳信、无棣、沾化、滨县、蒲台、博兴、齐东、高青、广饶、利津、垦利共12县、108个区、973个乡、6967个村。7月，蒲台县黄河以北部分包括蒲台城和北镇30个村划归滨县。1953年，邹平、长山、桓台三县由淄博专区划归惠民专区。惠民专区辖惠民、阳信、无棣、沾化、滨县、蒲台、博兴、邹平、长山、齐东、高青、桓台、广饶、利津、垦利共15个县。
1955年，章丘县的炭张、芽庄等八个村庄划入邹平县，淄川县第六区胶济铁路以北的35个村庄划入长山县。1956年，长山县并入邹平县；高青县并入齐东县，原高青县所辖黄河北岸的惠济乡划归济阳县；撤销蒲台县，并入博兴县、齐东县；由德州专区划入乐陵、临邑、商河、济阳四县。惠民专区辖惠民、阳信、无棣、沾化、滨县、博兴、邹平、齐东、桓台、广饶、利津（垦利县已析入广饶、利津）、乐陵、商河、临邑、济阳共15个县。1958年9月，各县改区乡为公社，全区15个县共建公社211处。1958年10月，惠民专区领导机关迁驻滨县北镇新建城区。
1958年11月，惠民专区与淄博市合并为淄博专区，专区领导机关迁驻张店。同时，撤销齐东县，齐东县原辖位桥、九户、码头、黑里寨、青城、花沟6个公社划归邹平县，田镇、高城、唐坊、旧镇4个公社划归博兴县；桓台县并入博兴县，博兴县乔庄、龙居、史口、纯化4个公社划归广饶县；邹平县的南阎、张坊、马尚、房镇4个公社划归淄博市；滨县并入惠民县，并将滨县阎家公社共66村划归沾化县；利津县并入沾化县；阳信县并入无棣县；垦利县改建为孤岛公社，并将广饶县溢洪河以北地区划归孤岛公社；乐陵、商河、临邑、济阳四县划归聊城专区。
1958年底，淄博专区辖淄博市和惠民、无棣、沾化、博兴、邹平、广饶六县和专区直属孤岛公社。1959年9月，商河（乐陵县并入）、临邑（济阳县并入）两县划归淄博专区。1960年，商河县更名为乐陵县，孤岛公社改置为垦利县，博兴县陈庄公社（今属桓台县）的辛庄、冯马、胡马、齐马、坊子五个自然村划归邹平县焦桥公社。
1961年1月，经国务院批准，撤销淄博专区，恢复惠民专区，专区领导机关迁回滨县北镇。各县开始建区，改大公社为小社。10月，析邹平县黑里寨、青城、花沟和博兴县田镇、高城、唐坊、旧镇共七个区复置高青县；广饶县龙居、乔庄、纯化三个区复归博兴县，同时，恢复1958年撤并的滨县、阳信县、桓台县、利津县，沾化县阎家公社复归滨县；乐陵、商河、临邑、济阳复制后划回德州专区。惠民专区辖惠民、滨县、阳信、无棣、沾化、博兴、邹平、高青、桓台、广饶、利津、垦利共12县。其中，邹平县置15个区，辖86个公社；高青县置7个区，辖53个公社；滨县置9个区，辖57个公社；惠民县置13个区，辖85个公社；博兴县置11个区，辖60个公社；阳信县、无棣县、沾化县仍为大公社。
1962年3月，邹平县炭张、芽庄等八个村庄复归章丘县，辛庄、坊子等五个村庄复归桓台县。1964年，阳信县改为9个区，辖46个公社；无棣县改为10个区，辖55个公社；沾化县改为9个区，辖58个公社。至此，各县改社建区全部完成。1964年10月，四女寺减河（今漳卫新河）左侧无棣县辛集区的辛集、良户、宋王、朱王、傅赵、山后6个公社和埕口区杨埕公社划归河北省。
1966年，各县开始撤区改社。是年，滨县改为11个公社；1968年，惠民县改为13个公社，无棣县改为17个公社，沾化县改为19个公社，博兴县改为14个公社，邹平县改为18个公社；1970年，高青改为7个公社，阳信县改为13个公社，至此，各县撤区改社全面完成，境内八县共置112个公社。1967年2月27日，中共惠民地委与惠民专署被地区革命委员会代替。1971年6月5日，重建中共滨州地委。1978年7月10日，惠民地区革命委员会改为惠民地区行政公署。