隋开皇十八年（598年），改东武县为诸城县（取县西15千米汉故诸县城为名），属密州，治诸城。大业三年（607年），密州改为高密郡，诸城为郡治。唐代，诸城县时属密州，时属高密郡，统辖于河南道。北宋时期，诸城为京东东路密州安化军节度使治。金时，属山东东路密州治，并于县内置普庆、信阳、草桥三镇。元朝时，诸城仍为密州治，属山东东西道宣慰司益都路总管府。明洪武二年（1369年），废密州，原州治改为诸城县治，隶属于青州府。洪武四年，置诸城宁御千户所。清沿袭明治，诸城属青州府。据清乾隆年间地图记载，诸城疆域东南至黄海，北到安丘浯河，面积4500平方千米，两倍于今。
民国元年（1912年）2月1日，诸城独立。民国3年，诸城属胶东道。民国14年，诸城改属莱潍道，县行政机构为公署。民国17年废道制，县直属于省。民国19年县公署改为县政府。1943年7月18日在长城岭成立诸城县抗日民主政府，隶属于滨海区滨北专署。1945年8月日军投降，9月6日诸城解放。9月9日成立诸城县人民政府。1946年7月属胶东区滨北专署。建国后先属胶州专署，1956年4月改属昌潍专区（后改称潍坊地区），1983年为潍坊市所辖。1987年4月20日，撤销诸城县，以原诸城县的行政区域设立诸城市。同年7月1日正式撤县设市，属山东省政府管辖，由潍坊市代管。
隋改东武县为诸城县时，县境东北与胶西为邻，北与高密、安丘交界，西与东莞毗连，南为高密、琅琊郡界，东南与琅琊接壤。至胶西、高密县城各为40千米，至安丘县城30千米，至东莞县城45千米，至郡界15千米，至琅琊县城65千米。清朝初期，设8乡169社，城郭12隅。乾隆初年，划为32练，城郭8坊。乾隆诸城县志记载：“县东五十里至胶州界，又九十里至州；西五十里至莒州界，又百三十里至州；南百二十里至日照界，又四十里至其县；北、东北各六十里至安丘、高密二县界，又皆六十里至其县；东南百五十里至海。此疆域之大凡也。广百二十里，袤百八十里。”总面积4071.5平方千米。民国18年（1929年），设有7区4镇65乡2005个村。抗日民主政府成立后，辖16个区1100个自然村。1949年辖10个区，下设117个乡647个自然村，总面积799平方千米。
1950年1月，将莒北县的太平、金墩、清河、枳沟、贾悦、荆山等6个区划归诸城，诸城由原辖10个区增加到16个区，下设136个乡982个自然村。1953年3月，将胶河县的障北区、台西区、桃园区、石门区和丰台区之一部分划归诸城，境域面积扩大到2126平方千米。1953年冬，全县设20个区219个乡5个镇1185个自然村。1956年3月，将藏马县的桃林区划归诸城县；1956年4月，将五莲县的常山区划归诸城县。1958年2月，撤区并乡，共有1镇35乡1331个自然村。1958年9月成立人民公社，全县共有19个公社，辖1328个自然村。
1959年7月，因修建十字路水库，将诸城县桃林公社辛小庄等10个村划归胶南县。1965年，将五莲县的王家北杏等5个大队划归诸城县。1965年4月，将诸城县原石埠子公社所属渠河以北之石埠子等16个大队和石桥子公社所属渠河以北之周家屯等4个大队划归安丘县，同时将安丘县东南部渠河以东之河套等17个大队划归诸城县。1970年11月，将诸城县桃林公社兰上大队划归胶南县。1983年底有1镇21个公社。1984年4月，撤销人民公社，建立乡（镇）政权，全县分为13镇22乡1345个自然村。
1987年7月1日改县为市（县级市），辖13个镇、22个乡，1340个村（居）委会。总面积2182.7千米，东西最大横距66.5千米，南北最大纵距72千米。其四至：东29千米至胶南市界，又30千米至城区，东北27千米至高密市界，又东29千米至城区；北25.5千米至安丘市界，又23.5千米至城区；西34千米至沂水县界、莒县县界，又58千米至沂水县城，48千米至莒县城；东南37千米至胶南市界。
1989年4月10日（5月正式实施），撤销范家官庄乡，并入孟疃镇；撤销曹家泊乡，并入相州镇；撤销芝灵乡，并入昌城镇；撤销大仁和乡，并入百尺河镇；撤销大屯乡，并入林家村镇；撤销朱家村乡，并入皇华镇；撤销楼子乡、程戈庄乡，设立程戈庄镇；撤销寿塔乡、郝戈庄乡，设立郝戈庄镇。
1994年9月20日，撤销吕标乡，设立吕标镇；撤销凉台乡，设立郭家屯镇，以原凉台乡的行政区域和相州镇的丁家沙窝、南营、封家岭、秦家河崖、马家埠、韩富庄、业家屯、前宋岗、后宋岗、赵家寨、兴和11个村为郭家屯镇的行政区域，镇政府驻郭家屯。
1996年3月11日，将解留镇政府驻地迁至九台村并更名为九台镇（鲁政函民字[1996]15号）。1996年3月11日，撤销箭口乡、朱解乡、万家庄乡，设立箭口镇、朱解镇、万家庄镇（鲁政函民字[1996]16号）。
1996年，诸城市面积2182.7平方千米，人口103万，辖20个镇、7个乡：城关镇、吕标镇、枳沟镇、箭口镇、万家庄镇、贾悦镇、孟疃镇、石桥子镇、程戈庄镇、九台镇、相州镇、郭家屯镇、昌城镇、百尺河镇、辛兴镇、朱解镇、林家村镇、瓦店镇、郝戈庄镇、皇华镇、马庄乡、吴家楼乡、桃园乡、石河头乡、石门乡、桃林乡、山东头乡。市政府驻城关镇。
1996年12月29日，撤销马庄乡，设立马庄镇（鲁政函民字[1996]65号）。至此，诸城市21个镇、6个乡
2000年第五次人口普查，诸城市总人口1053695人，其中：城关镇211617人，吕标镇45046人，枳沟镇46169人，箭口镇28396人，万家庄镇43193人，贾悦镇41195人，盂疃镇33187人，马庄镇30826人，石桥子镇33493人，程戈庄镇31549人，九台镇25962人，相州镇48706人，郭家屯镇29528人，昌城镇62304人，百尺河镇49760人，辛兴镇38213人，朱解镇34171人，林家村镇34214人，瓦店镇19860人，郝戈庄镇28094人，皇华镇43604人，吴家楼乡16908人，桃园乡13246人，石河头乡15346人，石门乡13774人，桃林乡22848人，山东头乡12486人。
2001年2月，撤销山东头乡，并入桃林乡；撤销石河头乡，并入桃园乡；撤销石门乡，并入瓦店镇；撤销万家庄镇、箭口镇，合并组成舜王街道办事处；撤销吴家楼乡，将原吴家楼乡的吴家楼等34个村划归石桥子镇；将原吴家楼乡的后家疃等7个村划归程戈庄镇；将原吴家楼乡小程家庄子村划归马庄镇；撤销城关镇，将原城关镇扶淇河以东的兴华居委会、建国居委会、繁荣居委会、繁华居委会、大华等65个村（居）委会的管辖范围，设立密州街道，办事处驻地为原城关镇驻地；将原城关镇扶淇河以西的岔道口等38个村委会的管辖范围设立龙都街道，办事处驻地店子园。
至2002年7月，与诸城市毗邻的七条边界线全部勘定。全市边界线总长509千米，其中诸城高密线72.808千米，诸城安丘线73.243千米，诸城沂水线19.104千米，诸城莒县线31.251千米，诸城五莲线158千米，诸城胶南线122.088千米，诸城胶州线33.122千米。在边界线及诸城方共埋设界桩42棵。
2002年底，全市总面积2183平方千米。总人口105.8万人，其中非农业人口16.32万人。辖3个街道、18个镇、2个乡：密州街道、龙都街道、舜王街道、吕标镇、枳沟镇、贾悦镇、孟疃镇、马庄镇、石桥子镇、程戈庄镇、九台镇、相州镇、郭家屯镇、昌城镇、百尺河镇、辛兴镇、朱解镇、林家村镇、瓦店镇、郝戈庄镇、皇华镇、桃园乡、桃林乡。共有1337个行政村（居委会）。
2003年底，全市总面积2183平方千米。总人口105.8万人，其中非农业人口28.6万人。辖23个乡（镇、办事处），1337个行政村（居委会）。
2007年2月，撤销朱解镇、吕标镇、九台镇，其辖区分别并入密州街道、龙都街道、舜王街道；全市乡镇平均面积由94.9平方千米增加到109.9平方千米，平均人口规模由4.6万人增加到5.3万人。2007年5月，撤销郭家屯镇、郝戈庄镇，其辖区分别并入相州镇、皇华镇；全市乡镇平均面积由109.9平方千米增加到121.2平方千米，平均人口规模由5.3万人增加到6.1万人。至此，全市共有13个镇、2个乡、3个街道，1257个行政村、89个社区。
2007年8月，撤销孟疃镇、马庄镇，并入贾悦镇；撤销程戈庄镇，将其中26个村并入舜王街道，27个村并入石桥子镇；撤销瓦店镇、桃园乡，划归林家村镇。调整后，全市辖9个镇、3个街道、1个乡，1257个行政村、89个社区，1216个自然村。全市乡镇平均面积由121.2平方千米增加到167.9平方千米，平均人口规模由6.1万人增加到8.2万人。
2007年10月，将相州镇北部8个村划归峡山水库管理局（峡山水库生态管理区）管辖，行政区划隶属不变。2007年底，全市总面积2183平方千米。总人口106.3001万人。有少数民族26个，780人。辖13个乡镇（街道）、1个经济开发区，1257个行政村、89个居委会。
2009年5月11日，经省政府批准，潍坊市坊子区诸城市调整部分行政区划：将诸城市相州镇的尚家庄、南张洛、后凉台、前凉台、逄家岭、北戈庄、徐家庄、新村等8个村划归坊子区太保庄镇管辖。
2010年，诸城市将1249个行政村全部撤销，合并为208个农村社区。
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