1965年划揭阳县西部及陆丰县部分地区分置揭西县，因在揭阳县西得名。秦为古揭阳地。东晋咸和六年（311）为东官郡海阳县地，义熙九年（413）为义安郡海阳县地。隋开皇十一年（591）为潮州义安县（后再改海阳县）地。北宋宣和三年（1121）为潮州揭阳县地。南宋绍兴二～八年（1132—1138），曾随揭阳县并入海阳县。元至元十六年（1350）为潮州路揭阳县地。明洪武二年（1359）为潮州府揭阳县地。
1914年随揭阳县隶属于潮循道，1925年隶属于东江行政委员会。1928年隶属于东江善后委员公署。1932年隶属东区绥晋委员公署。1936年7月隶属广东省第五区行政督察专员公署等。1948年中国共产党领导人民反抗国民党政府腐败统治，在这里建立根据地，1949年7月潮梅人民行政委员会在这里成立。10月，中华人民共和国成立，随揭阳县隶属潮汕专员公署。
1965年7月，经国务院全体会议第157次会议决定：以揭阳县的良田、河婆，坪上、龙潭、灰寨、五经富、京溪园、钱坑、金和、塔头、东园、凤江等12个公社和棉湖镇；陆丰县的上砂、五云公社共14个公社和1个镇建置揭西县，成立揭西县人民政府，隶属汕头地区专员公署。1968年2月成立揭西县革命委员会，隶属汕头地区革命委员会。1980年9月，恢复揭西县人民政府建制，隶属汕头地区行政公署。1983年12月隶属汕头市。1991年12月改由新成立的地级揭阳市管辖。
1975年2月，划普宁县的贡山、湖西和四乡等3个生产大队归揭西县管辖。1986年12月，撤区建制改乡镇建制；由五云镇划出岭新、保新、陂苏、宝石、岽坑等5个村增设下砂乡。
1996年末，揭西县总面积1352.3406平方千米（本年土地资源详查数据），总人口78.65万人，辖16个镇、4个乡：河婆镇、棉湖镇、上砂镇、五云镇、坪上镇、龙潭镇、南山镇、灰寨镇、东园镇、大溪镇、钱坑镇、金和镇、凤江镇、塔头镇、京溪园镇、五经富镇、下砂乡、良田乡、西田乡、大洋乡。共有32个居委会、279个管理区，1629个村民小组。
2000年第五次全国人口普查，揭西县总人口716789人，其中：河婆镇96781人、棉湖镇90706人、凤江镇62843人、金和镇58711人、五经富镇34618人、上砂镇38115人、京溪园镇38210人、塔头镇36117人、五云镇35687人、钱坑镇37322人、灰寨镇31105人、坪上镇26203人、龙潭镇29022人、东园镇27801人、南山镇24798人、大溪镇21976人、良田乡9419人、下砂乡9257人、西田乡4541人、大洋乡3557人。
2003年，撤销下砂乡，将其行政区域并入五云镇；撤销大洋乡，将其行政区域并入五经富镇；撤销西田乡，将其行政区域并入良田乡。至此，揭西县辖河婆、龙潭、南山、灰寨、塔头、东园、凤江、棉湖、金和、大溪、钱坑、坪上、五云、上砂、五经富、京溪园16个镇和良田1个乡。
2006年2月6日，广东省民政厅（粤民区[2006]3号）批准：撤销河婆镇，设立河婆街道。
2009年末，揭西县面积1365平方千米，辖1个街道、15个镇、1个乡，38个社区、280个行政村。县政府驻河婆街道霖都大道52号。
2010年第六次人口普查，揭西县常住总人口825727人，其中：河婆街道121221人，龙潭镇32795人，南山镇30733人，五经富镇49087人，京溪园镇42250人，灰寨镇36286人，塔头镇42959人，东园镇32980人，凤江镇69127人，棉湖镇99769人，金和镇65062人，大溪镇23102人，钱坑镇39381人，坪上镇36140人，五云镇47669人，上砂镇44871人，良田乡11731人，北山农林场196人，果林场94人，油桐林场75人，高田农场104人，河輋农场25人，县苗圃场70人。
2012年末，揭西县面积1346.53平方千米。户籍人口97.99万人，常住人口83.64万人。辖1个街道、15个镇、1个乡。