汉属会稽。唐属武荣州，开元八年（720）属晋江县。宋太平兴国六年（981）析晋江县东乡十六里置惠安县，取“以惠安民”之义称惠安。因县治城北有山似螺又简称“螺”。历属清源军、平海军、泉州、泉州路、泉州府、厦门道。1949年8月24日解放，属晋江专区（地区）、泉州市。
1990年10月9日，福建省第一个回族乡政府在惠安县百崎正式成立。
1996年，省民政厅批复同意撤销肖厝镇，设立后龙、山腰、南埔、涂岭和埭港5个镇。东岭镇划出东桥、后建、东湖、散湖、埔殊、屿头山、坑尾、梅庄、燎原、厝斗、南湖、珩海、珩山、大吴、西坑、西湖、官岭、香山18个村，设立东桥乡。螺阳镇的新霞、霞东、霞张、前型、南洲、梅山6个村，辋川镇的溪南、王孙2个村划归螺城镇管辖。
1998年，省民政厅批复同意撤销东桥乡，设立东桥镇。1999年，省民政厅批复同意：从后龙镇划出诚峰、诚平、前亭、上楼、峥嵘、联岩、奎壁、郭厝8个村委会设立峰尾镇，镇政府驻诚峰村；从黄塘镇划出紫山、龙石、尾山、官溪、蓝田、石马、顶赤涂、油园、美仁、后垵、光山、坝下、南安、半岭、林口15个村委会设立紫山镇，镇政府驻翁后；从山腰镇划出前黄、香芹、前烧、凤南、凤北、凤阳、凤山、凤林、凤安、坑内、后张、三朱、古县13个村委会设立前黄镇，镇政府驻前黄村；从南埔镇划出界山、玉湖、岭头、下朱、玉山、鸠林、鹅头、河阳、东张、狮东、槐山、东凉、大前13个村委会设立界山镇，镇政府驻界山村；撤销埭港镇，将其行政区域并入山腰镇。
2000年4月12日，国务院批准同意将惠安县的山腰镇、后龙镇、南埔镇、涂岭镇、埭港镇划归新设立的泉州市泉港区管辖。同年，撤销小岞乡，设立小岞镇。行政区划调整后，惠安县辖15个镇、1个民族乡：螺城镇、洛阳镇、崇武镇、东园镇、张坂镇、东岭镇、辋川镇、涂寨镇、螺阳镇、黄塘镇、山霞镇、净峰镇、东桥镇、紫山镇、小岞镇、百崎回族乡。
2000年第五次人口普查，惠安县常住总人口897381人，其中：螺城镇90319人，螺阳镇77007人，黄塘镇33630人，紫山镇30888人，洛阳镇64291人，东园镇56509人，张坂镇68153人，崇武镇82826人，山霞镇45402人，涂寨镇74330人，东岭镇51181人，东桥镇54107人，净峰镇57196人，小岞镇27741人，辋川镇66938人，百崎回族乡16863人。
2003年末，惠安县总户数242052户，总人口921794人，其中非农业人口129396人。各乡镇人口：螺城镇84840人，螺阳镇78854人，黄塘镇39898人，紫山镇35038人，洛阳镇71640人，东园镇62526人，张坂镇74971人，崇武镇81093人，山霞镇50635人，涂寨镇87090人，东岭镇61569人，东桥镇64057人，净峰镇66399人，小岞镇31297人，辋川镇72547人，百崎回族乡18853人。
2005年，惠安县辖螺城、洛阳、崇武、东园、张坂、东岭、辋川、涂寨、螺阳、黄塘、山霞、净峰、东桥、紫山、小岞15个镇和百崎回族乡，共有11个社区、284个行政村。
2010年6月1日，惠安县洛阳、东园、张坂、百崎4个乡镇和惠南工业园区正式委托泉州台商投资区管理。
2010年第六次人口普查，惠安县常住总人口944231人，其中：螺城镇114384人，螺阳镇78446人，黄塘镇39102人，紫山镇30714人，洛阳镇69282人，东园镇57184人，张坂镇67430人，崇武镇81730人，山霞镇44152人，涂寨镇72445人，东岭镇55448人，东桥镇53766人，净峰镇52420人，小蚱镇27526人，辋川镇57935人，百崎回族乡19693人，城南工业区8156人，惠南工业区14418人。